Ультрафиолетовая ртутно-ксеноновая лампа ДРШ-350-1М является короткодуговой, разрядной, сверхвысокого давления и непрерывного действия. Работает в вертикальном положении катодом вверх (допустимое отклонение от вертикали ±15°). Используется в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения.
Лампа ДРШ-350-1М применяется:
- в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники,
- в флуоресцентной микроскопии,
- в микрофотолитографии,
- в проекционных установках, предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Технические характеристики:
- Мощность (номинальная): 360 Вт
- Мощность излучения в диапазоне длин волн 350-450 нм: 46 Вт
- Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 350-450 нм: 4500 мВт\стрд
- Напряжение на лампе: 55-70 В
- Ток лампы: от 9 до 18 А
